[发明专利]在样本制备期间从TEM样本拆下探针有效
| 申请号： | 201410396562.2 | 申请日： | 2014-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN104374633B | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | C.塞诺维茨 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N1/44 | 分类号： | G01N1/44 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 申屠伟进;陈岚 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种改进的制备TEM样本的方法。从工件提取样本，并且样本附着到探针以运送到样本支架。样本使用带电粒子束沉积而被附着到样本支架，并且通过在不使用带电粒子束切断该连接的情况下使探针和样本支架相对于彼此移动而被以机械方式与探针分离。 | ||
| 搜索关键词： | 样本 制备 期间 tem 拆下 探针 | ||
【主权项】：
1.一种制备用于TEM分析的样本的方法，所述方法包括：将基底装载到离子束系统中；通过离子束铣削来使样本与基底分离；将样本附着到探针；将样本运送到样本支架；使用带电粒子束引起的沉积来形成结合以将样本附着到样本支架，所述结合大于将样本保持到所述探针的结合；通过使探针或样本支架相对于彼此移动来使探针与样本分离，而在移动之前不从探针切割样本。
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