[发明专利]一种扫描薄板结构的工业CL系统的扫描装置在审
| 申请号： | 201410397574.7 | 申请日： | 2014-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN105445292A | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 阙介民;魏存峰;孙翠丽;舒岩峰;孟凡辉;曹大泉;杨胜宇;史戎坚;魏龙 | 申请（专利权）人： | 中国科学院高能物理研究所 |
| 主分类号： | G01N23/04 | 分类号： | G01N23/04 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 王卫忠;姜燕 |
| 地址： | 100049 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种扫描薄板结构的工业CL系统的扫描装置，所述扫描装置包括X射线源、探测器，载物台，所述载物台设于该X射线源与该探测器之间；该载物台包括倾斜角度调节转台、扫描转台和载具，通过所述倾斜角度调节转台和扫描转台活动地支撑所述载具；该载具固定供承载一待测样品，所述扫描转台驱动该载具以一水平线为轴旋转；该倾斜角度调节转台能够带动该载具以一垂线为轴旋转；该载具的中心与该X射线源光源出口、该探测器中心能位于同一水平面上。本发明的装置能够轻易调整待测样品的倾斜角度，使扫描方式多样灵活，能够在多种扫描倾斜角、360度旋转角下对板状结构样品进行断层扫描成像。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 薄板 结构 工业 cl 系统 装置 | ||
【主权项】：
一种扫描薄板结构的工业CL系统的扫描装置，所述扫描装置包括X射线源、探测器，载物台，其特征是，所述载物台设于该X射线源与该探测器之间；该载物台包括倾斜角度调节转台、扫描转台和载具，通过所述倾斜角度调节转台和扫描转台活动地支撑所述载具；该载具供固定承载一待测样品，所述扫描转台驱动该载具以一水平线为轴旋转；该倾斜角度调节转台能够带动该载具以一垂线为轴旋转；该载具的中心与该X射线源光源出口、该探测器中心能位于同一水平面上。
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