[发明专利]用于薄膜感应器的线圈单元、薄膜感应器及相关制造方法

摘要

本发明涉及用于薄膜感应器的线圈单元、薄膜感应器及相关制造方法。根据本发明的用于薄膜感应器的线圈单元包括：具有不同材料的双绝缘层的绝缘体；以及嵌入在绝缘体的上表面和下表面中的线圈图案。此外，根据本发明的用于薄膜感应器的线圈单元的制造方法包括：在粘合到基础层的一对金属层的每个上形成第一线圈图案；形成嵌入第一线圈图案的第一绝缘层；形成第二线圈图案和嵌入第二线圈图案的第二绝缘层；以及将所述一对金属层与基础层分离。

主权项

1.一种用于薄膜感应器的线圈单元，包括：第一绝缘层；第二绝缘层，设置在所述第一绝缘层上；第一线圈图案，嵌入在所述第一绝缘层中；以及第二线圈图案，嵌入在所述第二绝缘层中，其中，所述第一线圈图案由镀层形成，并且其中，所述第二线圈图案由多个镀层形成，该多个镀层包括第一镀层、形成在所述第一镀层上的第二镀层，以及形成在所述第二镀层上的第三镀层，其中，第一绝缘保护层形成在所述第一线圈图案的嵌在所述第一绝缘层中并从所述第一绝缘层的下表面暴露的部分中，第二绝缘保护层形成在所述第二线圈图案的嵌在所述第二绝缘层中并从所述第二绝缘层的上表面暴露的部分中。