[发明专利]一种高温加速度传感器在审
申请号: | 201410403085.8 | 申请日: | 2014-08-15 |
公开(公告)号: | CN105334348A | 公开(公告)日: | 2016-02-17 |
发明(设计)人: | 林全明;郑燕青;涂小牛;孔海宽;熊开南;李亚乔;施尔畏 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海硅酸盐研究所;上海硅酸盐研究所中试基地 |
主分类号: | G01P15/09 | 分类号: | G01P15/09 |
代理公司: | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人: | 曹芳玲;郑优丽 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种高温加速度传感器,所述高温加速度传感器以结构有序型压电晶体Sr3NbGa3Si2O14、Sr3TaGa3Si2O14、Ca3NbGa3Si2O14和/或Ca3TaGa3Si2O14作为敏感元件。 | ||
搜索关键词: | 一种 高温 加速度 传感器 | ||
【主权项】:
一种高温加速度传感器,其特征在于,所述高温加速度传感器以结构有序型压电晶体Sr3NbGa3Si2O14、Sr3TaGa3Si2O14、Ca3NbGa3Si2O14和/或Ca3TaGa3Si2O14作为敏感元件。
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