[发明专利]像差修正方法、使用其的激光加工方法、激光照射方法和像差修正装置

摘要

本发明涉及像差修正方法、使用其的激光加工方法、激光照射方法、像差修正装置和像差修正程序。本发明的一个实施方式所涉及的像差修正方法中，在将激光聚光于具有光透过性的介质(60)内部的激光照射装置(1)的像差修正方法中，以使激光的聚光点位于在所述介质内部所产生的像差范围之间的方式，修正激光的像差。若将介质(60)的折射率设为n，将自介质(60)的入射面至透镜(50)的焦点为止的深度设为d，将通过介质(60)而产生的像差设为Δs，则该像差范围为自介质(60)的入射面起n×d以上且n×d+Δs以下。

主权项

一种激光加工方法，其特征在于，是使用了将激光聚光于具有光透过性的加工对象物内部的激光加工装置的所述加工对象物的激光加工方法，该激光加工装置具备用于将激光聚光于所述加工对象物内部的聚光单元以及用于修正所述激光的像差的空间光调制器，在所述激光加工方法中，设定所述加工对象物内部的聚光位置，以所述激光的聚光点位于在所述加工对象物内部所产生的像差范围之间的方式，设定所述加工对象物的相对移动量，将以所述激光聚光在所述聚光位置上的方式所计算出的修正波阵面显示在所述空间光调制器中，以使所述加工对象物与所述聚光单元的距离成为所述相对移动量的方式，相对地移动所述聚光位置，将所述激光朝向所述加工对象物中的聚光位置照射，由此，在所述加工对象物形成改质层，切断所述加工对象物，由此，使所述改质层位于所述加工对象物的切断面。