[发明专利]基于叠片式辐射型混联柔顺结构驱动的无阀微泵吸盘

摘要

一种基于叠片式辐射型混联柔顺结构驱动的无阀微泵吸盘，包括叠片式混联柔顺放大机构、叠堆压电陶瓷片和薄膜微泵；其中，所述放大机构将径向输入位移转换为轴向输出位移，其由多个形状结构相同的辐射型并联柔顺放大机构单片按输出运动特性串联叠堆上下对齐后，在中心轴线处进行结构粘接组装而成；叠堆压电陶瓷片固定在所述放大机构上，通电后对所述放大机构产生高频径向形变位移输入；薄膜微泵粘接于所述放大机构的下部，底部设有用以吸附壁面的沉槽型吸附腔；所述放大机构将叠堆压电陶瓷片输入的高频径向形变位移转换成轴向输出位移，并驱动薄膜微泵工作，使吸附腔内的气体定向流动产生稳定的负压。本发明体积小、重量轻、重心低、无噪声、高频动态特性稳定，适合作为爬壁机器人的吸附装置。

主权项

一种基于叠片式辐射型混联柔顺结构驱动的无阀微泵吸盘，其特征是：所述吸盘包括叠片式混联柔顺放大机构、叠堆压电陶瓷片和薄膜微泵；所述叠片式混联柔顺放大机构将径向输入位移转换为轴向输出位移，该叠片式混联柔顺放大机构为圆盘形，内部功能结构呈辐射型对称，采用MEMS工艺加工制作，所述叠片式混联柔顺放大机构采用叠片式结构，由多个形状结构相同的辐射型并联柔顺放大机构单片按输出运动特性串联叠堆上下对齐后，在中心轴线处进行结构粘接组装而成；所述叠堆压电陶瓷片固定粘接在所述叠片式混联柔顺放大机构上，通电后对所述叠片式混联柔顺放大机构产生高频径向形变位移输入；所述薄膜微泵粘接于所述叠片式混联柔顺放大机构的下部，底部设有用以吸附壁面的沉槽型吸附腔；所述叠片式混联柔顺放大机构将所述叠堆压电陶瓷片输入的高频径向形变位移转换成轴向输出位移，传动到所述薄膜微泵并驱动该薄膜微泵工作，使所述沉槽型吸附腔内的气体定向流动产生稳定的负压。