[发明专利]输送装置及具有该输送装置的曝光装置

摘要

本发明提供一种小型且低成本的输送装置及具有该输送装置的曝光装置，能够在长条状工件的输送路径的整体范围内施加适当的张力，能够在不使长条状工件弯曲行进的情况下对其进行输送，能够通过去除附着在长条状工件的表面的异物来防止曝光缺陷和显影缺陷。输送装置将架设于供给卷轴与卷取卷轴之间的长条状工件在其长度方向上进行输送，其特征在于，输送装置设置有浮动辊，浮动辊位于供给卷轴与卷取卷轴之间，随着长条状工件的输送进行升降，并对长条状工件施加张力，浮动辊在其外周面形成有异物去除单元，浮动辊在随着长条状工件的输送进行升降的同时，使异物去除单元与长条状工件的一个面接触并旋转，由此，对长条状工件的一个面进行清扫。

主权项

一种输送装置，其将架设于供给卷轴与卷取卷轴之间的长条状工件在其长度方向上进行输送，其特征在于，所述输送装置设置有浮动辊和浮动辊清扫单元，该浮动辊位于所述供给卷轴与所述卷取卷轴之间，随着所述长条状工件的输送进行升降，并对所述长条状工件施加张力，该浮动辊清扫单元位于所述浮动辊的上方，对所述浮动辊的外周面进行清扫，所述浮动辊在其外周面形成有异物去除单元，该异物去除单元由形成于所述浮动辊的外周面的粘接层构成，所述浮动辊在随着所述长条状工件的输送进行升降的同时，使所述异物去除单元与所述长条状工件的一个面接触并旋转，由此，对所述长条状工件的一个面进行清扫，所述浮动辊清扫单元由具有比所述浮动辊的所述粘接层强的粘接力的浮动辊用粘接片辊构成，所述浮动辊用粘接片辊不能升降地设置在所述浮动辊的上方，所述浮动辊和所述浮动辊用粘接片辊彼此的外周面仅在所述浮动辊的上升端处接触。