[发明专利]一种半导体生产工艺配方的管控方法及系统有效
| 申请号： | 201410410124.7 | 申请日： | 2014-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN105446277B | 公开（公告）日： | 2018-04-17 |
| 发明（设计）人： | 范光瑛 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙)31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种半导体生产工艺配方的管控方法及系统，包括步骤首先，提供存储有关联配方的一组工艺设备；然后，识别其中一个工艺设备上存储的配方为基准配方；再将该组中其他工艺设备上存储的配方与所述基准配方一一参照对比，并生成差异报表，判断差异报表中每一个工艺设备的配方与基准配方的差异信息，若差异信息符合工艺要求，则投产；不符合则放弃投产。本发明通过系统定义关联配方，识别基准配方后自动实施参照管理，提高了配方部署过程的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 生产工艺 配方 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种半导体生产工艺配方的管控方法，其特征在于，所述半导体工艺配方的管控方法至少包括步骤：1)提供存储有关联配方的一组工艺设备；2)识别其中一个工艺设备上存储的配方为基准配方；3)将该组中其他工艺设备上存储的配方与所述基准配方一一参照对比，并生成差异报表，判断差异报表中每一个工艺设备的配方与基准配方的差异信息，若差异信息符合工艺要求，则投产；不符合则放弃投产。
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