[发明专利]立体形状的陶瓷加热器

摘要

本发明的目的是提供一种用于加热真空蒸镀装置的材料坩埚的长寿命立体形状的陶瓷加热器，本发明为一种陶瓷加热器，其包括：立体形状的电绝缘性陶瓷的支撑基材、由设置于该基材上的导电性陶瓷构成且形成有包含折回部的加热器图案的薄膜状发热体、设置在该发热体上的电绝缘性陶瓷的绝缘层、以及用于将发热体连接到电源的电力供给端子，本发明的特征在于，加热器图案的折回部被沿着电流流动的方向分割成N列电流通路，并且，某第n列电流通路的电力密度Xn齐整为整体的电力密度平均值的±30％的范围之内。

主权项

一种立体形状的陶瓷加热器，包括：由立体形状的电绝缘性陶瓷构成的支撑基材、由设置于该基材上的导电性陶瓷构成且形成有包含折回部的加热器图案的薄膜状发热体、由设置在该发热体上的电绝缘性陶瓷构成的绝缘层以及用于将所述发热体连接到电源的电力供给端子，其特征在于：所述加热器图案的折回部被沿着电流流动的方向分割成多个电流通路，并且，该电流通路的一个分割区间被分割为N列(N为2以上的整数)电流通路时，第n列(n为1～N)电流通路的电力密度Xn满足下式1。【式1】$0.7\≤\frac{\mathrm{Xn}}{\frac{\underset{n=1}{\overset{N}{\mathrm{\Σ}}}\text{Xn}}{N}}\≤1.3$