[发明专利]静态存储器的检测设备及检测方法有效
| 申请号： | 201410411989.5 | 申请日： | 2014-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN104157309B | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 倪棋梁;陈宏璘;龙吟 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G11C29/56 | 分类号： | G11C29/56 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31275 | 代理人： | 吴世华,林彦之 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种静态存储器的检测设备及检测方法，包括检测模块、数据模块、分析模块，检测模块通过在一扫描方向下扫描而获取静态存储器的数据图形，并将这些数据图形存储到数据模块中；分析模块调取数据模块中的重复排列的数据图形进行对比分析；并进一步地设置方向转换模块；根据预先确定的扫描方向，方向转换模块将非扫描方向上的静态存储器或已获得的数据图形转换到扫描方向上。通过本发明只需一次扫描过程，即可找到不同方向上重复排列的静态存储器发生数据异常的位置，提高了检测效率并降低了工艺成本。 | ||
| 搜索关键词： | 静态 存储器 检测 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种静态存储器的检测设备，其特征在于，包括：检测模块，用于在一扫描方向下扫描并获取静态存储器的数据图形；其中，晶圆上有个缺口，作为晶圆位置标记，通过该晶圆位置标记来确定晶圆的扫描方向；数据模块，用于存储检测模块获得的数据图形；分析模块，用于调取所述数据模块中的重复排列的数据图形进行对比分析，找出发生数据异常的位置；方向转换模块，用于将非扫描方向上的重复排列的静态存储器的数据图形转换到扫描方向上，并将其存储到所述数据模块中；或方向转换模块将非扫描方向上的重复排列的静态存储器进行方向转换，使其转换到扫描方向上，并将其存储到所述数据模块中；然后分析模块调取存储到数据模块中的重复排列的数据图形进行对比分析，从而找出发生数据异常的位置。
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