[发明专利]悬挂式双面外延生长装置在审
申请号: | 201410412073.1 | 申请日: | 2014-08-20 |
公开(公告)号: | CN104178806A | 公开(公告)日: | 2014-12-03 |
发明(设计)人: | 刘兴昉;刘斌;闫果果;王雷;赵万顺;张峰;孙国胜;曾一平 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | C30B25/12 | 分类号: | C30B25/12;C30B25/08 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种悬挂式双面外延生长装置,包括:一悬挂式片架,该悬挂式片架包括:三个立柱,每一立柱上开有凹槽,每个立柱上的凹槽有一个或多个,三个立柱相同高度位置的凹槽构成一组;其中将三个立柱等距竖立排列,使三个立柱分别位于一等边三角形三个顶点处,将一衬底插入到立柱的凹槽内,使衬底悬挂于片架上,形成双面悬空的效果。本发明能够为单片直径达六至八英寸、单次同时双面外延制备提供装置及方法支持,既可以避免外延材料翘曲,又可以提高外延生产效率、提高气体利用率、降低能耗等。 | ||
搜索关键词: | 悬挂 双面 外延 生长 装置 | ||
【主权项】:
一种悬挂式双面外延生长装置,包括:一悬挂式片架,该悬挂式片架包括:三个立柱,每一立柱上开有凹槽,每个立柱上的凹槽有一个或多个,三个立柱相同高度位置的凹槽构成一组;其中将三个立柱等距竖立排列,使三个立柱分别位于一等边三角形三个顶点处,将一衬底插入到立柱的凹槽内,使衬底悬挂于片架上,形成双面悬空的效果。
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