[发明专利]一种硅片清洗装置

摘要

本发明提供了一种硅片清洗装置，旨在解决现有的硅片清洗装置清洗硅片效率低的问题，包括花篮、清洗装置，花篮包括内圆管和外圆管，内圆管上设有外卡槽，外圆管上设有内卡槽，内圆管底部和外圆管的底部之间固连有杆；内圆管上开设有内通槽；外圆管上开设有外通槽；清洗装置包括圆板、中心圆管；中心圆管外侧壁上环绕有中心圆管喷头；圆板上设有圆板喷头，每个圆板喷头上端均连有一个穿设在圆板上的水管连接头。本发明中设有环形的花篮，圆板喷头可以从上端对硅片进行冲洗，中心圆管喷头可以从内圆管中心孔中向外对硅片进行清洗，清洗时的工作效率高，而且环形的花篮不存在死角，容易清洗，而且清洗的干净。

主权项

一种硅片清洗装置，包括用于放置硅片的花篮(2)、用于清洗硅片的清洗装置(3)，其特征是：所述花篮(2)包括同轴的内圆管(21)和外圆管(22)，所述内圆管(21)的外侧壁上设有外卡槽(211)，所述外圆管(22)的内侧壁上设有与外卡槽(211)一一对应且与外卡槽(211)配合放置硅片的内卡槽(221)，所述内圆管(21)底部和外圆管(22)的底部之间固连有杆(23)；所述内圆管(21)上开设有用于连通外卡槽(211)与内圆管(21)内部且与外卡槽(211)一一对应的内通槽(212)，每个外卡槽(211)顶部均与内圆管(21)的上端相通，每个外卡槽(211)的底部均不与内圆管(21)底端相通；所述外圆管(22)上开设有用于连通内卡槽(221)与外圆管(22)外部且与内卡槽(221)一一对应的外通槽(222)，每个内卡槽(221)顶部均与外圆管(22)的上端相通，每个内卡槽(221)的底部均不与外圆管(22)的底端相通；所述清洗装置(3)包括设置在花篮(2)上方的圆板(31)、穿设在圆板(31)中心上且下端封闭的中心圆管(32)；中心圆管(32)外侧壁上位于圆板(31)下方的部分环绕有中心圆管喷头(34)；所述圆板(31)上设有一圈向下喷淋的圆板喷头(33)，所述圆板喷头(33)位于内圆管(21)和外圆管之间部分的正上方，每个圆板喷头(33)上端均连有一个穿设在圆板(31)上的水管连接头(35)；还包括用于夹持花篮且可旋转的三爪卡盘(1)；所述杆(23)有三个且均布在内圆管(21)和外圆管(22)之间。