[发明专利]一种宽量程石墨烯高温压力传感器有效
| 申请号： | 201410413806.3 | 申请日： | 2014-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN104155051A | 公开（公告）日： | 2014-11-19 |
| 发明（设计）人： | 李孟委;郑伦贵;靳书云;刘双红;王莉;李新娥 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01L9/08 | 分类号： | G01L9/08;G01L1/18 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 巴晓艳 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明涉及高温压力测试领域，具体而言，涉及一种宽量程石墨烯高温压力传感器，传感器具体包括：键合基板、复合金属电极及传感器阵列，所述传感器阵列固定在键合基板上，所述复合金属电极嵌入在键合基板和传感器阵列之间；本发明通过传感器的阵列结构拓宽传感器的测试量程，通过传感器阵列上的敏感单元的阵列结构来提高传感器的可靠性。同时，敏感单元采用氮化硼/石墨烯/氮化硼的异质结构，使传感器有较好抗腐蚀性、耐高温性和瞬时响应。可见，宽量程石墨烯高温压力传感器实现了压力传感器的耐高温、高可靠性、高精度、瞬时响应、大量程等要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 量程 石墨 高温 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种宽量程石墨烯高温压力传感器，其特征在于，包括：键合基板、复合金属电极及传感器阵列，所述传感器阵列固定在键合基板上，所述复合金属电极嵌入在键合基板和传感器阵列之间；所述传感器阵列由M个单元传感器组成，所述M个单元传感器采用1×M的排列方式固定在键合基板上，每个单元传感器的结构相同，厚度不相同，所述传感器单元包括N个敏感单元；复合金属电极包括主电极及接触点，所述接触点溅射于主电极一侧的中心区域；键合基板刻蚀有接触孔，接触孔的位置和接触点的位置对应。
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