[发明专利]一种钇铁石榴石薄膜及其制备方法

摘要

本发明提供了一种钇铁石榴石薄膜及其制备方法，所述方法包括1）将氧化钇和硝酸铁溶于由乙酸、水组成的混合溶剂中得到混合溶液；2）向混合溶液中加入乙酰丙酮进行反应；3）将混合溶液静置后，用微孔滤膜滤出沉降物，得到钇铁石榴石前驱体溶液；4）向基材上滴加钇铁石榴石前驱体溶液形成凝胶膜；5）将凝胶膜先进行保温处理，然后进行热解处理；6）将经热解处理的凝胶膜进行退火处理。

主权项

一种钇铁石榴石薄膜的制备方法，其特征在于，所述方法包括：1）将氧化钇和硝酸铁溶于由乙酸、水组成的混合溶剂中得到混合溶液，所述混合溶液中钇离子与铁离子的摩尔比为3：5，乙酸与水的体积比为30：（5‑8）；2）向步骤1）制备的混合溶液中加入乙酰丙酮进行反应，使得所述混合溶液中乙酸、乙酰丙酮之间的体积比为30：（12‑15），反应完毕后混合溶液中钇元素的浓度为0.15‑0.75mol/L；3）将步骤2）中反应完毕的混合溶液静置48‑72小时后，用微孔滤膜滤出所述混合溶液中沉降物，得到钇铁石榴石前驱体溶液；4）向高速旋转的、经预处理的基材上滴加步骤3）制备的钇铁石榴石前驱体溶液，使得基材上形成凝胶膜，所述基材的旋转速度为3000‑6000转/分；5）将步骤4）制备的凝胶膜先在150‑200℃下进行保温处理，然后在300～400℃下进行热解处理；6）将步骤5）中经热解处理的凝胶膜在700～850℃下进行退火处理；所得钇铁石榴石薄膜的表面粗糙度为1.20‑2.39nm，薄膜中晶粒尺寸为50—100nm，矫顽场能够低至9 Oe，饱和磁化强度能够达到0.21emu/mm3。