[发明专利]一种纳米激光器阵列制作方法

摘要

本发明涉及一种纳米激光器阵列制作方法。在先技术工艺复杂、灵活性低、可控性不强。本发明基于多层球壳纳米的光学与等离子体模式相互作用机理，采用多层球壳纳米激光器，结合电流变效应对纳米激光器进行排列，并进行固化，得到纳米激光器阵列。本发明具有激光器结构简单、制作工艺简单、纳米激光器结构无需固定基底、纳米激光器阵列制作方法简单、可调控性强、阵列分布灵活、整体器件外形选择灵活等特点。

主权项

 一种纳米激光器阵列制作方法，其特征在于该方法的具体步骤如下：步骤(1)纳米激光器分散到光固化胶流体中形成纳米激光器悬浮液；步骤(2)含有多个纳米激光器的纳米激光器悬浮液通过微流通道，所述的微流通道相对的两个侧壁上设置有两个电极板，当纳米激光器悬浮液处于两个电极板之间的微流通道时，两个侧壁电极板之间施加电压，在电场所用下纳米激光器进行自动组织排布，形成纳米激光器阵列；步骤(3)固化照明光源发射固化光束，经过光束整形部件形成固化光场图案，当纳米激光器在电场所用下形成纳米激光器阵列后，开启固化照明光源，所形成的固化光场图案照射在纳米激光器阵列区域，使固化光场图案所照射的区域光固化胶流体发生固化，形成稳定的纳米激光器阵列，关闭固化照明光源；步骤(4) 纳米激光器阵列在后续流入的光固化胶流体推动下移出固化光场区域，完成纳米激光器阵列制作过程。