[发明专利]用于集成电路制造的数据处理方法和装置在审
| 申请号： | 201410415623.5 | 申请日： | 2014-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN105447294A | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 李延;张波;梁晓宇;李鹏 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G06F19/00 | 分类号： | G06F19/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 李志刚;吴贵明 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种用于集成电路制造的数据处理方法和装置。其中，该用于集成电路制造的数据处理方法包括：实时采集集成电路制造的机台数据；获取机台数据的数据类型；获取与数据类型对应的计算模型，其中，计算模型被配置为多个模型子项；按照多个模型子项对机台数据进行计算，得到计算结果；以及实时输出计算结果。通过本申请，解决了现有技术中进行数据处理时的效率比较低的问题，进而达到了提高数据处理的效率的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 集成电路 制造 数据处理 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种用于集成电路制造的数据处理方法，其特征在于，包括：实时采集集成电路制造的机台数据；获取所述机台数据的数据类型；获取与所述数据类型对应的计算模型，其中，所述计算模型被配置为多个模型子项；按照所述多个模型子项对所述机台数据进行计算，得到计算结果；以及实时输出所述计算结果。
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G06 计算；推算；计数
G06F 电数字数据处理
G06F19-00 专门适用于特定应用的数字计算或数据处理的设备或方法
G06F19-10 .生物信息学，即计算分子生物学中的遗传或蛋白质相关的数据处理方法或系统
G06F19-12 ..用于系统生物学的建模或仿真，例如：概率模型或动态模型，遗传基因管理网络，蛋白质交互作用网络或新陈代谢作用网络
G06F19-14 ..用于发展或进化的，例如：进化的保存区域决定或进化树结构
G06F19-16 ..用于分子结构的，例如：结构排序，结构或功能关系，蛋白质折叠，结构域拓扑，用结构数据的药靶，涉及二维或三维结构的
G06F19-18 ..用于功能性基因组学或蛋白质组学的，例如：基因型–表型关联，不均衡连接，种群遗传学，结合位置鉴定，变异发生，基因型或染色体组的注释，蛋白质相互作用或蛋白质核酸的相互作用
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