[发明专利]等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201410415737.X | 申请日： | 2014-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN104427736B | 公开（公告）日： | 2017-04-12 |
| 发明（设计）人： | 安东靖典;入泽一彦;岸田茂明;千叶理树 | 申请（专利权）人： | 日新电机株式会社;株式会社日本制钢所 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;C23C16/505;H01L21/205 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种等离子体处理装置，可以提升在天线的长度方向上的基板处理的均匀性。天线形成将高频电极收纳在电介质盒内的构造。高频电极形成使2片电极导体以两者作为整体来呈现矩形板状的方式，相互隔开间隙且接近并平行地配置，且利用导体将两电极导体的长度方向的其中一端彼此连接而构成返回导体构造，且高频电流相互逆向地流向两电极导体。且在电极导体的间隙侧的边形成开口部，将该开口部以多个分散并配置在高频电极的长度方向。将该天线以高频电极的主面与基板的表面成为实质上相互垂直的方向而配置在真空容器内。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种等离子体处理装置，是通过使高频电流流入天线，而使真空容器内产生感应电场，生成等离子体，且利用该等离子体对基板实施处理的电感耦合型等离子体处理装置，其特征在于：所述天线形成将高频电极收纳在电介质盒内的构造，所述高频电极形成如下构造，即：使均呈现矩形板状的2个电极导体，以两者作为整体来呈现矩形板状的方式，相互隔开间隙且接近并平行地配置，且利用导体将两电极导体的长度方向的其中一端彼此连接而构成返回导体构造，所述高频电流相互逆向地流向该2个电极导体，进而，在所述2个电极导体的所述间隙侧的边上，分别设置夹着所述间隙而对向的切口，利用对向的所述切口形成开口部，且使该开口部以多个分散并配置在该高频电极的长度方向，且将所述天线以构成所述天线的所述高频电极的主面与所述基板的表面成为实质上相互垂直的方向而配置在所述真空容器内，所述高频电极的主面为所述高频电极所呈现的矩形板状的较大的面。
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