[发明专利]梳齿电容式微加速度计有效
| 申请号： | 201410416756.4 | 申请日： | 2014-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN104133080B | 公开（公告）日： | 2017-12-12 |
| 发明（设计）人： | 张照云;苏伟;唐彬;彭勃;陈颖慧 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司11249 | 代理人： | 刘洪京 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种梳齿电容式微加速度计，包括由上至下设置的衬底层、绝缘层、结构层和基底层，绝缘层设在衬底层与结构层之间；衬底层和基底层上均设有金属引线电极。本发明不增加器件面积的情况下使得检测电容成倍增加，增加质量块重量，增加了设计的灵活性，能提高测量精度，且可利用干法刻蚀，尺寸控制好，工艺简单，能够实现大批量制造。 | ||
| 搜索关键词： | 梳齿 电容 式微 加速度计 | ||
【主权项】：
一种梳齿电容式微加速度计，其特征在于：包括由上至下设置的衬底层、绝缘层、结构层和基底层，绝缘层设在衬底层与结构层之间；衬底层和基底层上均设有金属引线电极；该衬底层上设有第一质量块、第一可动电极和第一固定电极，第一固定电极的一端通过第一锚点跟绝缘层连接，另一端为自由端，第一可动电极的一端跟第一质量块连接，另一端为自由端；第一可动电极和第一固定电极相间构成平行板电容器；该结构层上设有第二质量块、第二可动电极、第二固定电极和支撑梁，第二固定电极的一端通过第二锚点分别跟绝缘层和基底层连接，另一端为自由端；第二可动电极的一端连接到第二质量块上，另一端为自由端；支撑梁一端连接到第二质量块上，另一端通过第三锚点跟基底层连接；第二可动电极和第二固定电极相间构成平行板电容器；第一锚点与第二锚点在基底层的同一竖直方向上；绝缘层材料中包括二氧化硅。
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