[发明专利]用于环境测试的电性检测装置有效

专利信息
申请号: 201410418361.8 申请日: 2014-08-22
公开(公告)号: CN105445501B 公开(公告)日: 2018-11-27
发明(设计)人: 陈建宏;叶志高;林建;占雯 申请(专利权)人: 环旭电子股份有限公司;环鸿科技股份有限公司
主分类号: G01R1/04 分类号: G01R1/04;G01R1/073;G01R31/00
代理公司: 上海音科专利商标代理有限公司 31267 代理人: 张成新
地址: 201203 上海市浦东新区张*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种用于环境测试的电性检测装置,包含有底座、压板以及气体通道,该底座具有顶面、底面以及测试区,该测试区具有自该顶面凹陷且用于设置待测物的测试槽、连通于该测试槽与该底面之间的探针通道、以及穿设于该探针通道且用于接触该待测物的探针,该压板以能够移开的方式设置于该底座的测试槽上方,该气体通道贯穿该底座或该压板并且与该测试槽连通;由此,该电性检测装置能够使待测物在特定的温度湿度环境条件下进行电性检测,而且检测过程简便,并能够避免检测结果受到不必要的影响。
搜索关键词: 用于 环境 测试 检测 装置
【主权项】:
1.一种用于环境测试的电性检测装置,包含有:底座,其具有顶面、底面以及至少一个测试区,所述测试区具有自所述顶面凹陷且用于设置待测物的测试槽、连通于所述测试槽与所述底面之间的探针通道、以及穿设于所述探针通道且用于接触所述待测物的探针;压板,其以能够移开的方式设置于所述底座的测试槽的上方;以及至少一个气体通道,其贯穿所述底座或所述压板且与所述测试槽连通,所述至少一个气体通道为贯穿所述底座的下气体通道,所述下气体通道连通于所述底座的测试槽与所述底面之间,所述测试槽具有用于承载所述待测物的承载面、以及较之所述承载面更接近所述底座的所述底面的凹陷面,所述下气体通道位于所述凹陷面,所述底座包含有底盘及承载盘,所述底盘具有所述底面及上表面,所述承载盘设于所述上表面且具有所述顶面及下表面,所述至少一个测试区还具有自所述底盘的上表面凸出的凸块,所述下气体通道包含有自所述承载盘的下表面凹陷且在所述测试槽的凹陷面呈开放状的下凹槽、贯穿所述凸块的穿孔、以及在所述底座的底面呈开放状且与所述凸块的穿孔连通的长槽孔,所述凸块设于所述下凹槽内,所述凸块的穿孔与所述下凹槽连通。
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