[发明专利]适合影像转移曝光机的菲林与工件密着方法

摘要

本发明公开了一种适合影像转移曝光机的菲林与工件密着方法，包括提供菲林，玻璃板、工件，在工件下表面设置多孔材料介质层，在所述多孔材料介质层的下部设置有的平台，所述平台与空气泵相连，在玻璃板上部设置有第一驱动装置，在所述平台下部设置有第二驱动装置，所述菲林贴附在该玻璃板下表面，所述的多孔材料介质层上开设有若干贯穿于上下两端面的细微小孔，通过菲林与工件密着方法将空气泵产生的过滤空气通过平台并经过所述细微小孔送到工件的下表面，在工件的下表面形成使得工件与菲林紧密贴合的均匀的气浮压力，该密着方法形成气浮正压力的时间较形成真空负压时间缩短数倍，能显著提高生产效率，贴合的正压力可以无限制增大。

主权项

适合影像转移曝光机的菲林与工件密着方法，其特征在于：提供菲林，玻璃板、可与菲林下表面相互贴合在一起的工件，在工件下表面设置多孔材料介质层，在多孔材料介质层的下部设置有与所述多孔材料介质层紧密贴合的平台，所述平台与空气泵相连，在玻璃板上部设置有第一驱动装置，在所述平台下部设置有调整所述工件与菲林之间距离和平行度的第二驱动装置，所述菲林贴附在该玻璃板下表面，所述的多孔材料介质层上开设有若干分布均匀贯穿于上下两端面的细微小孔，通过菲林与工件密着方法将空气泵产生的过滤空气通过平台并经过所述细微小孔送到工件的下表面，在工件的下表面形成使得工件与菲林紧密贴合的均匀的气浮压力，所述菲林与工件密着方法包括贴好菲林，机械手将所述工件放置在于所述多孔材料介质层上部，所述平台先移动到玻璃板下方的位置，检测工件与菲林的位置是否初步对准，通过第一驱动装置驱动所述玻璃板进行X、Y轴移动及圆周转动，同时所述第二驱动装置驱动所述平台的上下移动，调整所述工件与所述菲林的间距，实现所述菲林与所述工件的准确对位，然后所述空气泵工作，通过对所述平台的充气使其在所述多孔材料介质层表面形成均匀的气浮压力，迫使所述工件与菲林紧密贴合，贴合到位后进行紫外线曝光，使所述菲林上的影像转移到所述工件上，然后所述空气泵收气，将所述工件移走。