[发明专利]正型感光性树脂组成物及其图案形成方法有效
| 申请号： | 201410421017.4 | 申请日： | 2014-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN104423168B | 公开（公告）日： | 2018-11-30 |
| 发明（设计）人： | 刘骐铭;施俊安 | 申请（专利权）人： | 奇美实业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/008;G03F7/004;G03F7/00;G02F1/1368 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾台南*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是有关一种正型感光性树脂组成物及其图案形成方法。该正型感光性树脂组成物包含酚醛清漆树脂(A)、聚硅氧烷(B)、邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(C)及溶剂(D)。上述酚醛清漆树脂(A)包含二甲酚型酚醛清漆树脂(A‑1)，且该二甲酚型酚醛清漆树脂(A‑1)由醛类化合物与二甲酚类化合物聚缩合而得。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组成 及其 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种正型感光性树脂组成物，包含：酚醛清漆树脂(A)；聚硅氧烷(B)，由如式(I)所示的化合物所聚合形成：Si(R1)a(OR2)4‑a 式(I)在该式(I)中，该R1代表氢原子、碳数为1至10的烷基、碳数为2至10的烯基、碳数为6至15的芳香基、具有酸酐基的烷基、具有环氧基的烷基或具有环氧基的烷氧基，且该至少一R1包含一具有酸酐基的烷基、一具有环氧基的烷基或一具有环氧基的烷氧基；该R2代表氢原子、碳数为1至6的烷基、碳数为1至6的酰基或碳数为6至15的芳香基；a代表0至3的整数；邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(C)；以及溶剂(D)，且其中基于该酚醛清漆树脂(A)的使用量为100重量份，该聚硅氧烷(B)的使用量为1重量份至20重量份。
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