[发明专利]基于THEED纤维阵列的二氧化碳传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于THEED纤维阵列的二氧化碳传感器及其制备方法，通过静电纺丝装置喷射聚合物溶液，结合直线高速移动台进给实现密度可控有向的THEED聚合物微纳纤维阵列纺丝；之后，通过磁控溅射手段在微纳纤维阵列上修饰镍铬合金薄膜电阻层，实现基于THEED纤维阵列的二氧化碳传感器制备。本发明制备过程耗时短，耗能少，效率高；在材料方面仅用到少量的聚合物溶液与靶材，材料成本低；通过调节直线高速移动台进给速度，可以自由控制有向微纳纤维阵列密度；通过对溶剂参数和操作参数的调整，可以更为精确的控制有向微纳纤维阵列的直径；通过调节溅射参数，可以实现薄膜电阻层厚度的调节。

主权项

一种基于THEED纤维阵列的二氧化碳传感器，其特征在于，包括PCB板基底（9），在PCB板基底（9）上设有至少一对等距排布的电极（8）；正对的两个电极（8）之间的PCB板基底（9）镂空，间距为5‑10mm；PCB板基底（9）和电极（8）构成传感单元PCB板（1）；每对电极（8）之间连接若干有向且不交叉的二氧化碳敏感微纳纤维（11）；所述二氧化碳敏感微纳纤维（11）由THEED聚合物微纳纤维（10）和附着在THEED聚合物微纳纤维（10）表面的镍铬合金薄膜电阻层（12）构成。