[发明专利]炉管制作工艺的派工控制方法

摘要

本发明公开一种炉管制作工艺的派工控制方法，包括下列步骤。在多批晶片进入炉管之前，算出各批晶片的特性变异值。将多批晶片依照特性变异值的大小进行排序。将多批晶片依照特性变异值由大到小的顺序对应于炉管中造成特性变异值变小到变大的多个位置摆放在炉管中。

主权项

1.一种炉管制作工艺的派工控制方法，包括：在多批晶片进入一炉管之前，算出各批晶片的一特性变异值；将该多批晶片依照该些特性变异值的大小进行排序；以及将该多批晶片依照该些特性变异值由大到小的顺序对应于该炉管中造成该特性变异值变小到变大的多个位置摆放在该炉管中，其中该些特性变异值是由该特性变异值的函数所算出，该特性变异值的函数相关于栅极长度与用于形成源极与漏极时的残留氧化硅的厚度中的至少一者。