[发明专利]微机械构件和用于制造微机械构件的方法有效
| 申请号： | 201410424715.X | 申请日： | 2014-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN104418290B | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | S·安布鲁斯特;H·格鲁特杰克;F·沙茨;J·穆霍;F·N·恩吉蒙齐;J·巴德尔;K·德塞尔;R·施特劳布 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C3/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明提供了一种微机械构件和一种用于制造微机械构件的方法。该构件具有：一框架(40)；一板簧(20)，其与所述框架(40)连接，并且板簧具有前侧面(F20)和背侧面(B20)，背侧面与前侧面(F20)背离；一反射镜元件(10)，其布置在板簧(20)的前侧面(F20)上并且与所述板簧(20)的前侧面(F20)以如下方式连接，即，反射镜元件(10)能调节地悬挂在框架(40)上；和至少一个压电条(30、31)，至少一个压电条与板簧(20)的背侧面(B20)连接；其中，通过施加电压到至少一个压电条(30、31)上，板簧(20)能够为了调节反射镜元件(10)而弹性地变形。 | ||
| 搜索关键词： | 板簧 微机械构件 前侧面 反射镜元件 压电条 侧面 施加电压 制造 变形 背离 悬挂 | ||
【主权项】：
微机械构件，其具有：一框架(40)；一板簧(20；21；22；23；24；25)，所述板簧与所述框架(40)连接，并且所述板簧具有前侧面(F20；F21；F23；F24)和背侧面(B20；B21；B22；B23；B25)，所述背侧面与所述前侧面(F20；F21；F23；F24)背离；一反射镜元件(10；10')，所述反射镜元件布置在所述板簧(20；21；22；23；24)的前侧面(F20；F21；F23；F24)上并且与所述板簧(20；21；22；23；24；25)的前侧面(F20；F21；F23；F24)通过一间隔元件(12)以如下方式连接，即，所述反射镜元件(10；10')能调节地悬挂在所述框架(40)上，其中，所述反射镜元件(10；10')具有一进行反射的表面(16)，所述进行反射的表面至少借助于所述间隔元件(12)与所述板簧(20；21；22；23；24；25)的前侧面(F20；F21；F23；F24)间隔开；和至少一个压电条(30、31；32、33；34、35；36、37)，所述至少一个压电条与所述板簧(20；21；22；23；24；25)的背侧面(B20；B21；B22；B23；B25)连接；其中，通过施加电压到所述至少一个压电条(30、31；32、33；34、35；36、37)上，所述板簧(20；21；22；23；24；25)能够为了调节所述反射镜元件(10；10')而弹性地变形，其中，在板簧(21)中，连续地从所述板簧(21)的前侧面(F21)直至所述板簧(21)的背侧面(B21)构造至少一个狭缝(50)，其中，所述板簧(20；21；22)在它的前侧面(F20；F21；F22)的至少两个彼此间隔开的区段上直接与所述框架(40)连接。
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