[发明专利]氧化钛薄膜的制备方法及氧化钛薄膜

摘要

本发明提供了一种氧化钛薄膜的制备方法及氧化钛薄膜，该氧化钛薄膜的制备方法包括以下步骤：1)氧化钛前驱物的制备；2)涂膜及后处理。本发明提供了一种制备工艺简单且能够规模化生产的氧化钛薄膜的制备方法及氧化钛薄膜。

主权项

一种氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于：所述方法包括以下步骤：1)氧化钛前驱物的制备：1.1)将二乙醇胺逐滴加入到搅拌中的乙醇中，40℃下密封搅拌约10‑20分钟至混合均匀，得到溶液A；1.2)将钛酸丁酯逐滴加入到步骤1.1)所得到的溶液A中，继续在40℃下密封搅拌100‑150分钟，得到溶液B；1.3)向步骤1.2)所得到的溶液B中缓慢滴加去离子水，密封搅拌30‑40分钟，得到浅黄色透明前驱物溶液C；1.4)向步骤1.3)中所得到的浅黄色透明前驱物溶液C中加入重量白分比是0‑6.0％的聚乙烯吡咯烷酮，密封搅拌至溶解完全，静止陈化5至20小时，得到溶液D；所述溶液D是氧化钛前驱物；所述聚乙烯吡咯烷酮的分子量Mw是55000道尔顿；2)涂膜及后处理：2.1)将基片依次用丙酮、乙醇以及去离子水分别在超声作用下清洗5分钟；2.2)将步骤1)所制备得到的氧化钛前驱物采用旋转、印刷或提拉方法于步骤2.1)中所处理得到的基片进行表面涂膜，得到涂膜样品；2.3)将步骤2.2)所得到的涂膜样品于100℃下烘干，15‑30分钟；2.4)将步骤2.3)中进行烘干后的样品于550℃下管式炉或马弗炉中进行热处理两小时后取出，冷却到室温，得氧化钛薄膜。