[发明专利]去除附着于金属零件表面TiN及Ti薄膜的清洗方法在审
| 申请号： | 201410425940.5 | 申请日： | 2014-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN104195575A | 公开（公告）日： | 2014-12-10 |
| 发明（设计）人： | 国天增;贺贤汉 | 申请（专利权）人： | 富乐德科技发展（天津）有限公司 |
| 主分类号： | C23G1/00 | 分类号： | C23G1/00 |
| 代理公司： | 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 | 代理人： | 沈履君 |
| 地址： | 301712 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明去除附着于金属零件表面TiN及Ti薄膜的清洗方法，包括如下步骤：S1，使用碱性溶液对零件进行浸泡；S2，使用酸性溶液对零件进行清洗；S3，使用清洗液对零件进行清洗；S4，对零件进行干燥。本发明去除附着于金属零件表面TiN及Ti薄膜的清洗方法操作简单，耗时少，清洗效果理想，而且不会对物理气相沉积工艺腔室中金属零件造成损伤。应用此方法对半导体工艺一段时间后的物理气相沉积工艺腔室中金属零件清洗后,金属零件表面的TiN及Ti污染物完全被除去,零件表面没有遭到损伤,达到清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 去除 附着 金属 零件 表面 tin ti 薄膜 清洗 方法 | ||
【主权项】：
去除附着于金属零件表面TiN及Ti薄膜的清洗方法，其特征在于，包括如下步骤：S1，使用碱性溶液对零件进行浸泡；S2，使用酸性溶液对零件进行清洗；S3，使用清洗液对零件进行清洗；S4，对零件进行干燥。
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