[发明专利]物面形变测量方法和测量系统

摘要

本发明涉及一种物面形变测量方法和测量系统，其中，一种物面形变测量方法包括确定待测物面的三维形貌数据；通过激光散斑干涉测量确定所述待测物面的原始形变测量数据；根据所述三维形貌数据校正所述形变测量数据，以得到所述待测物面的最终三维形变分布数据。本发明可实现对一定曲率的物面形变数据的精密测量和校正，具有广泛的应用前景。

主权项

一种物面形变测量方法，其特征在于，包括：确定待测物面的三维形貌数据；通过激光散斑干涉测量确定所述待测物面的原始三维形变分布数据；确定与待测物面的任一测物点相邻但三点不共线的两个其他测物点分别作为参考点；确定所述任一测物点分别相对各所述参考点的切向量；根据各所述参考点的切向量确定所述任一测物点的单位法向量根据待测物面所放置的参考平面的法向量确定所述任一测物点的单位法向量的方向其中，如果则如果则表示所述任一测物点相对一参考点的切向量，表示所述任一测物点相对另一参考点的切向量；根据确定的单位法向量的方向校正所述原始三维形变分布数据中相应测物点的形变测量数据；根据各测物点校正后的形变数据，得到所述待测物面的最终三维形变分布数据。