[发明专利]一种具有打码功能的曝光机有效
| 申请号： | 201410428551.8 | 申请日： | 2014-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN105446083B | 公开（公告）日： | 2018-05-04 |
| 发明（设计）人： | 李会丽;林彬;李志丹 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种具有打码功能的曝光机，包括由光源、掩模、物镜、基板以及工件台组成的曝光系统，其特征在于还包括打码系统，所述打码系统包括光源，打码系统固定模块，液晶数字显示掩模模块，打码位置调整模块以及编码、定位软件模块；所述打码系统与所述曝光系统同时工作。本发明的曝光机能在曝光的过程中同时进行每个曝光场边缘屏幕的打码，可明显为后续打码机缩短生产时间，以便整条产线提高产能，同时不改变产线设备的配置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 功能 曝光 | ||
【主权项】：
一种具有打码功能的曝光机，包括由光源、掩模、物镜、基板以及工件台组成的曝光系统，其特征在于：还包括打码系统，所述打码系统包括光源，打码系统固定模块，液晶数字显示掩模模块，打码位置调整模块以及编码、定位软件模块；所述打码系统固定模块包括框架和导轨，所述液晶数字显示掩模模块固定于所述导轨上，导轨可以携带液晶数字显示掩模模块做平行于基板曝光扫描方向的运动；所述打码系统与所述曝光系统同时工作；曝光、打码过程中，所述液晶数字显示掩模的运动与基板的运动平行且速度一致。
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