[发明专利]一种利用三氯氢硅制备颗粒多晶硅的方法及系统有效
| 申请号： | 201410430504.7 | 申请日： | 2014-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN104211067A | 公开（公告）日： | 2014-12-17 |
| 发明（设计）人： | 谭德军 | 申请（专利权）人： | 谭德军 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘杰 |
| 地址： | 430015 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种利用三氯氢硅制备颗粒多晶硅的方法及系统，该系统主要包括三氯氢硅歧化塔、硅烷分离器、硅烷流化床反应器。将三氯氢硅通入三氯氢硅歧化塔中，使得三氯氢硅在催化剂的作用下，发生两步歧化反应得到二氯二氢硅、硅烷，然后将二氯二氢硅和硅烷通入硅烷分离器进一步精馏分离获得高纯度的硅烷，硅烷经过预热后变成硅烷气，再通过硅烷流化床反应器进行硅烷的热分解，得到颗粒多晶硅产品。本发明制备的颗粒多晶硅产品的纯度可以作为太阳能级多晶硅，制备的产品纯度高，制备工艺简单，并且能耗低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 三氯氢硅 制备 颗粒 多晶 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种利用三氯氢硅制备颗粒多晶硅的系统，其特征在于，所述系统包括：三氯氢硅歧化塔，利用催化剂使通入的三氯氢硅发生两步歧化反应，生成二氯二氢硅、硅烷和四氯化硅；再通过精馏提纯将所述二氯二氢硅、所述硅烷和所述四氯化硅进行分离；硅烷分离器，和所述三氯氢硅歧化塔连接，用于接收所述二氯二氢硅、所述硅烷，并利用精馏分离功能将所述硅烷和所述二氯二氢硅进行分离；硅烷流化床反应器，和所述硅烷分离器连接，用于接收所述硅烷，为所述硅烷和外界通入的氢气提供反应空间进行反应，以获得所述颗粒多晶硅。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于谭德军，未经谭德军许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410430504.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：半导体装置及其制造方法
- 下一篇：半导体装置以及半导体装置的制造方法
