[发明专利]一种硅片带电多线切割方法及带电多线切割装置有效
| 申请号： | 201410432029.7 | 申请日： | 2014-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN104175409A | 公开（公告）日： | 2014-12-03 |
| 发明（设计）人： | 贺鹏;常成新;蔺文;宗红梅;安强 | 申请（专利权）人： | 西安华晶电子技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/00 |
| 代理公司： | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人： | 景丽娜 |
| 地址： | 710077 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅片带电多线切割方法，包括步骤：一、硅棒粘接，过程如下：玻璃板固定、导电胶带固定和硅棒固定；二、直流电源接线：将导电胶带与直流电源负极连接，并将多线切割机中收放线机构的放线轮或收线轮与直流电源正极连接；三、硅棒线带电切割：接通直流电源，采用多线切割机对待切割硅棒进行切割；该带电多线切割方法步骤简单且实现方便，通过带电切割有效提高硅片多线切割效率。同时，本发明还公开了一种硅片带电多线切割装置，包括直流电源、导电胶带和对待切割硅棒进行切割的多线切割机；导电胶带粘接固定于待切割硅棒的底面中部，该装置结构简单、设计合理且投入成本较低、使用操作简便，同时切割效率高且切割质量好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 带电 切割 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片带电多线切割方法，其特征在于该方法包括以下步骤：步骤一、硅棒粘接：将待切割硅棒(1)固定于多线切割机的工作台上，固定过程如下：步骤101、玻璃板固定：将玻璃板(2)粘接固定于所述工作台上；步骤102、导电胶带固定：在步骤101中所述玻璃板(2)上涂抹一层粘接胶，并将导电胶带(3)粘接固定于玻璃板(2)上；步骤103、硅棒固定：将待切割硅棒(1)粘接固定于玻璃板(2)上，并使步骤102中所述导电胶带(3)粘接固定于待切割硅棒(1)的底面中部；步骤二、直流电源接线：待步骤103中所述待切割硅棒(1)固定完成后，将导电胶带(3)与直流电源(4)的负极连接，并将所述多线切割机中收放线机构的放线轮(5)或收线轮(8)与直流电源(4)的正极连接；所述收放线机构为对钢线(6)进行收放的机构；步骤三、硅棒线带电切割：接通直流电源(4)，采用所述多线切割机对待切割硅棒(1)进行切割；切割过程中，所述待切割硅棒(1)和钢丝(6)均处于带电状态。
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