[发明专利]具有改进的空气清除能力的微阀有效
申请号: | 201410436462.8 | 申请日: | 2014-06-24 |
公开(公告)号: | CN104235497B | 公开(公告)日: | 2018-11-30 |
发明(设计)人: | E·N·福勒;P·阿鲁纳萨拉姆;C·杨;M·鲁克维克;J·奥杰达 | 申请(专利权)人: | 浙江盾安禾田金属有限公司 |
主分类号: | F16K99/00 | 分类号: | F16K99/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 曲莹 |
地址: | 311814 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及具有改进的空气清除能力的微阀。一种微阀,包括基板,基板具有限定出致动器空腔的表面。排气沟槽从致动器空腔的具有终端区域的第一空腔部分向致动器空腔的具有可以从微阀中排出气体的结构的第二空腔部分延伸。盖板包括设置有致动器空腔的表面,致动器空腔包括具有终端区域的第一空腔部分和具有可以从微阀中排出气体的结构的第二空腔部分。中间板包括布置在致动器空腔中的可移位构件、可移位构件在闭合位置和打开位置之间移动,在闭合位置,可移位构件防止经由微阀的流体连通,在打开位置,可移位构件不再防止经由微阀的流体连通。 | ||
搜索关键词: | 微阀 空腔 致动器 可移位构件 闭合位置 第二空腔 第一空腔 空气清除 流体连通 终端区域 基板 排气沟槽 中间板 盖板 改进 延伸 移动 | ||
【主权项】:
1.一种微阀,包括:第一板,包括其内设置有第一致动器空腔的表面,所述第一致动器空腔包括:具有第一纵向末端和与第一纵向末端相对的第二纵向末端的纵向延伸的第一空腔部分,第一纵向末端限定出终端区域;具有能够从微阀中排出空气的结构的第二空腔部分以及从所述第一空腔部分的终端区域向所述第二空腔部分延伸的第一排气结构;以及第二板,具有抵靠第一板的所述表面的表面,并包括可移位构件,所述可移位构件布置在所述致动器空腔内,在闭合位置和打开位置之间移动,在闭合位置,所述可移位构件防止经由微阀的流体连通,在打开位置,所述可移位构件不再防止经由微阀的流体连通。
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