[发明专利]涡旋干式真空泵及其制造方法、真空系统

摘要

本发明属于真空获得设备领域，具体涉及涡旋干式真空泵及其制造方法、真空系统。该涡旋干式真空泵包括相对设置的静涡旋盘(2)和动涡旋盘(10)，所述静涡旋盘(2)包括静涡旋体、所述动涡旋盘(10)包括动涡旋体，其中，所述静涡旋体的型线和所述动涡旋体的型线均采用阿基米德涡旋线，所述动涡旋体与所述静涡旋体之间具有180°的相位差，所述动涡旋体与所述静涡旋体在运动时能够啮合形成压缩腔。本发明中的涡旋干式真空泵，通过对核心零件动涡旋盘、静涡旋盘的涡旋型线以及密封条结构及其相应的加工方法进行了创新，同时还对电机的整体结构设计以及加工、装配做了改进，在满足真空泵自身性能及使用要求的前提下，降低了加工难度及生产成本。

主权项

一种涡旋干式真空泵，包括相对设置的静涡旋盘(2)和动涡旋盘(10)，所述静涡旋盘(2)包括静涡旋体、所述动涡旋盘(10)包括动涡旋体，其特征在于，所述静涡旋体的型线和所述动涡旋体的型线均采用阿基米德涡旋线，所述动涡旋体的型线与所述静涡旋体的型线之间具有180°的相位差，所述动涡旋体与所述静涡旋体能够啮合形成压缩腔；所述静涡旋体和所述动涡旋体之间预留有径向间隙，所述间隙由外圈向内圈逐渐递减，且内圈间隙保持定值；进一步地，所述静涡旋体的型线和所述动涡旋体的型线采用一次阿基米德涡旋线和二次阿基米德涡旋线的配合连接，头部采用二次阿基米德涡旋线，尾部采用一次阿基米德涡旋线，一次阿基米德涡旋线和二次阿基米德涡旋线在连接处具有连续的一次导数和二次导数。