[发明专利]一种用于硬质合金刀片抛光的CMP工艺智能决策系统无效
| 申请号： | 201410438330.9 | 申请日： | 2014-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN104155914A | 公开（公告）日： | 2014-11-19 |
| 发明（设计）人： | 胡自化;秦长江;潘旸;吴昊 | 申请（专利权）人： | 湘潭大学 |
| 主分类号： | G05B19/18 | 分类号： | G05B19/18 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 411105 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于硬质合金刀片抛光的CMP工艺智能决策系统，其具体步骤为：CMP工艺参数数据库的建立；CMP抛光工艺智能决策模块的建立；CMP抛光质量预测模块的建立。它将由Access建立CMP抛光工艺参数数据库与PowerBuilder前端数据开发平台创建的工艺智能决策模块、抛光质量预测模块相连接，使其能对硬质合金刀具CMP抛光加工过程中的工艺路线和工艺参数进行合理决策，能够科学、智能完成硬质合金刀片CMP加工过程的工艺路线和工艺参数决策，并同时预测抛光质量，实现加工过程高效、稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 硬质合金 刀片 抛光 cmp 工艺 智能 决策 系统 | ||
【主权项】：
一种CMP工艺智能决策系统，包括工艺智能决策模块和抛光质量预测模块两个主要模块，其特征是：基于混合推理和CMP工艺参数数据库，通过PowerBuilder平台开发工艺智能决策模块和抛光质量预测模块。
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