[发明专利]一种跨骑型异质结共振隧穿场效应晶体管及其制备方法有效
| 申请号： | 201410438469.3 | 申请日： | 2014-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN104241375B | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | 黄如;吴春蕾;黄芊芊;王佳鑫;王阳元 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L29/06;H01L29/10;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙)11360 | 代理人： | 苏爱华 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公布了一种跨骑型异质结共振隧穿场效应晶体管及其制备方法，该器件包括隧穿源区，沟道区，漏区和位于沟道上方的控制栅，其中，隧穿源区与沟道区的异质隧穿结的能带结构为跨骑型异质结。若为N型器件则在隧穿源区与沟道区的异质隧穿结交界面处，隧穿源区导带底位于沟道区导带底的上方，隧穿源区价带顶位于沟道区价带顶下方；若为P型器件则隧穿源区导带底位于沟道区导带底的下方，隧穿源区价带顶位于沟道区价带顶上方。本发明可显著提高隧穿场效应晶体管的开态电流，同时保持较陡直的亚阈值斜率。其制备工艺简单有效，极大降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 跨骑 型异质结 共振 场效应 晶体管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种跨骑型异质结共振隧穿场效应晶体管，包括隧穿源区，沟道区，漏区和位于沟道上方的控制栅，其特征是，在所述隧穿源区与沟道区的交界面处形成异质隧穿结，所述异质隧穿结的能带结构为跨骑型异质结，所述跨骑型异质结共振隧穿场效应晶体管是N型器件，在所述隧穿源区与沟道区的异质隧穿结的交界面处，隧穿源区的导带底位于沟道区的导带底的上方，隧穿源区的价带顶位于沟道区的价带顶的下方。
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