[发明专利]一种集成压电热释电特性的温室探测器及其制备方法有效
| 申请号： | 201410439239.9 | 申请日： | 2014-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN104215338B | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 王军;蒋亚东;孙斌伟;黄泽华;黎威志 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01J5/10 | 分类号： | G01J5/10 |
| 代理公司： | 成都华风专利事务所(普通合伙)51223 | 代理人： | 徐丰 |
| 地址： | 611731 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成压电热释电特性的温室探测器及其制备方法，该集成压电热释电特性的温室探测器包括由下至上依次覆盖的衬底，介质层，下电极层，热释电材料层，上电极层以及顶层辐射波长吸收层；其中，在衬底与介质层之间形成空腔体，介质层在空腔体的顶部，且介质层在所述空腔体的一侧延伸至衬底上，使得介质层、下电极层、热释电材料层、上电极层以及顶层辐射波长吸收层整体形成悬臂梁结构，解决了现有技术中存在探测器的探测性能较低的技术问题，实现了提高了探测器的探测性能的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 压电 热释电 特性 温室 探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种集成压电热释电特性的温室探测器，其特征在于，包括：由下至上依次覆盖的衬底，介质层，下电极层，热释电材料层，上电极层以及顶层辐射波长吸收层；其中，在衬底与介质层之间形成空腔体，介质层在空腔体的顶部，且介质层在所述空腔体的一侧延伸至衬底上，使得介质层、下电极层、热释电材料层、上电极层以及顶层辐射波长吸收层整体形成悬臂梁结构，介质层具体为由温度变化引起形变的材料。
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