[发明专利]测试治具和测试方法有效

专利信息
申请号: 201410441479.2 申请日: 2014-09-01
公开(公告)号: CN104215644A 公开(公告)日: 2014-12-17
发明(设计)人: 高国华;郭飞 申请(专利权)人: 南通富士通微电子股份有限公司
主分类号: G01N21/956 分类号: G01N21/956;H01L21/66
代理公司: 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 代理人: 孟阿妮;郭栋梁
地址: 226006 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供一种测试治具和测试方法,该测试治具包括:环形基座,包含第一环形台和第二环形台,第二环形台位于第一环形台的内侧,且第二环形台的台面低于第一环形台的台面,第二环形台的台面上设有第一对准标识;环形主体,包含第三环形台和至少三个卡角结构,卡角结构与第三环形台之间通过螺栓固定接触或分离,卡角结构的卡角为90°,第三环形台上设置有第二对准标识,第一对准标识与第二对准标识的位置对准时,第一环形台与所述第三环形台的台面相对位置重合。该方案有用以测试圆片封装芯片背面打印图形是否偏移。
搜索关键词: 测试 方法
【主权项】:
一种测试治具,其特征在于,包括:环形基座,包含第一环形台和第二环形台,所述第二环形台位于所述第一环形台的内侧,且所述第二环形台的台面低于所述第一环形台的台面,所述第二环形台的台面上设有第一对准标识;环形主体,包含第三环形台和至少三个卡角结构,所述卡角结构与所述第三环形台之间通过螺栓固定接触或分离,所述卡角结构的卡角为90°,所述第三环形台上设置有第二对准标识,所述第一对准标识与所述第二对准标识的位置对准时,所述第一环形台与所述第三环形台的台面相对位置重合。
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