[发明专利]间隙涂布故障测试方法及其系统有效
申请号: | 201410442571.0 | 申请日: | 2014-09-02 |
公开(公告)号: | CN104155973B | 公开(公告)日: | 2017-05-17 |
发明(设计)人: | 陈锐;程建军;苏建贵 | 申请(专利权)人: | 深圳市浩能科技有限公司 |
主分类号: | G05B23/02 | 分类号: | G05B23/02 |
代理公司: | 深圳市博锐专利事务所44275 | 代理人: | 张明 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区龙*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种间隙涂布故障测试方法及其系统,其中,该方法包括以下步骤S01、在基片上预设涂布目标的起始位置以及终止位置并计算出预设涂布目标的涂布长度;S02、获取基片上实际涂布目标的起始位置以及终止位置并计算出实际涂布目标的涂布长度;S03、判断实际涂布目标的涂布长度与预设涂布目标的长度是否相同,若否则执行步骤S04;S04、判断实际涂布工艺值与设定涂布工艺值或者实际间隙工艺值与设定间隙工艺值的偏差绝对值与预设偏差大小;S05、判断实际涂布工艺值脉冲总数或者判断实际间隙工艺值脉冲总数与编码器设定长度数大小。本发明能够很快的排除实际涂布偏差的原因,保持涂布系统的精确性。 | ||
搜索关键词: | 间隙 故障测试 方法 及其 系统 | ||
【主权项】:
一种间隙涂布故障测试方法,其应用于间隙涂布系统中,其特征在于,包括如下步骤:S01、在基片上预设涂布目标的起始位置以及终止位置并计算出预设涂布目标的涂布长度;S02、获取基片上实际涂布目标的起始位置以及终止位置并计算出实际涂布目标的涂布长度;S03、判断实际涂布目标的涂布长度与预设涂布目标的长度是否相同,若否则执行步骤S04,若是则无故障;S04、根据实际单位涂布速度与间隙阀的打开时间求取实际涂布工艺值后,或根据实际单位涂布速度与间隙阀的关闭时间求取实际间隙工艺值后,判断实际涂布工艺值与设定涂布工艺值或者实际间隙工艺值与设定间隙工艺值的偏差绝对值是否大于预设偏差,若是则判断为间隙阀故障,若否则执行步骤S05;S05、根据实际涂布工艺值与单位脉冲数求取实际涂布工艺值脉冲总数,或根据实际间隙工艺值与单位脉冲数求取实际间隙工艺值脉冲总数后,判断实际涂布工艺值脉冲总数或者判断实际间隙工艺值脉冲总数与编码器设定长度数是否相同,若否则判断为编码器时间编排故障,若是则执行下一步检测。
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