[发明专利]等离子体源装置在审
| 申请号： | 201410444054.7 | 申请日： | 2014-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN104244559A | 公开（公告）日： | 2014-12-24 |
| 发明（设计）人： | 黄邦斗;蒲以康 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张大威 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提出一种等离子体源装置，包括：腔室，用于产生等离子体；串联的多个电感装置，每个电感装置包括磁芯和缠绕磁芯的线圈，多个电感装置均匀地围绕腔室的外周壁设置；电介质层，位于腔室和电感装置之间，用于将等离子体与线圈隔离开；交流电源；匹配网络，设置在所述交流电源和多个电感装置之间，用于匹配交流电源和等离子体的放电功率。本发明的装置，具有低功率，高密度，工作稳定，均匀性好，可控性强等的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
一种等离子体源装置，其特征在于，包括：腔室，所述腔室用于产生所述等离子体；串联的多个电感装置，每个电感装置包括磁芯和缠绕所述磁芯的线圈，所述多个电感装置均匀地围绕所述腔室的外周壁设置；电介质层，所述电介质层位于所述腔室和所述电感装置之间，用于将所述等离子体与所述线圈隔离开；交流电源；匹配网络，所述匹配网络设置在所述交流电源和所述多个电感装置之间，用于匹配所述交流电源和等离子体的放电功率。
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