[发明专利]基于静电斥力和引力混合驱动的射频MEMS开关

摘要

本发明提出了一种静电斥力和引力混合驱动的新型RFMEMS开关，是一种新型的电容式微机械开关。该开关沿传输线方向等间距的设置了三个固定电极在传输线的下方。当对上下方的固定电极同时施加工作电压时，下方的固定电极在可动桥膜周围形成了不均匀电场，产生静电斥力；上方的固定电极则产生一个静电场，处于其中的可动桥膜受到静电引力。可动桥膜在静电引力和静电斥力的共同作用下，远离下方固定电极并向上移动，最终与悬于可动桥膜上方的信号传输线接触来实现开关的接通。本发明解决了传统依靠静电引力工作时发生的电荷积累的问题，而且也一定程度上解决了依靠静电斥力工作时的高电压问题，在提高开关的可靠性的同时增强了开关的实用性。

主权项

一种基于静电引力和斥力混合驱动的射频MEMS开关，其特征在于：包括衬底（10），所述衬底（10）上覆盖有氧化层（9），所述氧化层（9）上表面的两侧分别设置有第一接地线（1）和第二接地线（2），所述第一接地线（1）和第二接地线（2）之间架设有可动桥膜；所述氧化层（9）上表面中部并排设置有与可动桥膜方向一致的第一固定电极（4）、第二固定电极（5）和第三固定电极（6），所述第二固定电极（5）位于可动桥膜的正下方，所述第一固定电极（4）和第三固定电极（6）位于第二固定电极（5）的两侧；所述氧化层（9）上表面设置有与接地线方向一致、且横跨可动桥膜的信号传输线，所述可动桥膜上位于信号传输线下方的位置设有介质层（8）。