[发明专利]背板缺陷的改善方法在审
| 申请号： | 201410445237.0 | 申请日： | 2014-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN105463389A | 公开（公告）日： | 2016-04-06 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;李超 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏;骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种背板缺陷的改善方法，包括：提供背板，所述背板具有缺陷，所述缺陷为至少一个孔洞；将所述背板放入热等静压炉中，进行热等静压处理。对具有缺陷的背板进行热等静压处理就是在高温条件下利用高压气体对背板施加各向均等的压力。背板的内部孔洞开始收缩，收缩至贴合后再进行背板原子之间的扩散至孔洞的体积进一步缩小，这时背板内部的缺陷被改善。从而提高了背板的致密度。 | ||
| 搜索关键词： | 背板 缺陷 改善 方法 | ||
【主权项】：
一种背板缺陷的改善方法，其特征在于，包括：提供背板，所述背板具有缺陷，所述缺陷为至少一个孔洞；将所述背板放入热等静压炉中，进行热等静压处理。
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