[发明专利]一种电子辐照下介质材料空间电荷原位测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种电子辐照下介质材料空间电荷原位测量装置及方法，其特点是：利用电子加速器模拟空间带电环境的高能电子对测试样品辐照，同时利用电声脉冲法原位测量介质材料空间电荷的分布，设计完成了一种电子辐照下介质材料空间电荷原位测量装置及方法。其装置主要包括电子加速器、真空靶室、真空抽气系统和电声脉冲法测量系统。本发明的装置可以用于测量高能电子辐照下的介质材料空间电荷分布的功能，为介质材料充放电的机理及其效应研究提供重要的材料特性参数。

主权项

一种电子辐照下介质材料空间电荷原位测量装置，其特征在于，它由真空靶室(1)、所发射电子能量和束流密度可调的电子加速器(2)、真空抽气系统(3)、示波器(4)、电声脉冲法测量系统(6)、样品台(7)、脉冲发生器(8)组成；其中，电声脉冲法测量系统(6)包括：脉冲信号输入接口(601)、铝屏蔽壳(602)、保护电阻(603)、铝电极(604)、上电极(606)、信号输出接口(607)、信号输出电路(608)、绝缘垫(609)、压电传感器(610)和下电极(611)；铝电极(604)、上电极(605)、介质材料样品(5)、下电极(611)、压电传感器(610)和绝缘垫(609)自上而下叠放连接后置于铝屏蔽壳(602)内部；下电极(611)和压电传感器(610)之间涂抹导电硅脂，上电极(605)和下电极(611)是通过蒸镀法在介质材料样品(5)两面镀上的金属薄膜；铝屏蔽壳(602)具有上开口，铝电极(604)中间部分通过所述上开口暴露在铝屏蔽壳(602)之外，且所述上开口与铝电极(604)紧密贴合；铝屏蔽壳(602)的壳体上设有脉冲信号输入接口(601)和信号输出接口(607)，脉冲信号输入接口(601)通过保护电阻(603)连接铝电极(604)，压电传感器(610)通过信号输出电路(608)连接信号输出接口(607)；真空靶室(1)与真空抽气系统(3)连通，电声脉冲法测量系统(6)放在真空靶室(1)内的样品台(7)上，电子加速器(2)位于样品台(7)上方，脉冲发生器(8)和示波器(4)置于真空靶室(1)之外，脉冲发生器(8)与电声脉冲法测量系统(6)的脉冲信号输入接口(601)相连，示波器(4)与电声脉冲法测量系统(6)的信号输出接口(607)相连。