[发明专利]离子光学装置及质谱仪有效
| 申请号： | 201410448494.X | 申请日： | 2014-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN105470094B | 公开（公告）日： | 2018-03-09 |
| 发明（设计）人： | 张小强;金峤;孙文剑 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | H01J49/06 | 分类号： | H01J49/06;H01J49/26 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙)31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供的离子光学装置及质谱仪，包括至少一平面绝缘基板，覆盖金属图案以构成包括多个单元电极的电极阵列，各单元电极根据第一方向排列以构成电极阵列的几何图案分布；相邻的且相互绝缘的单元电极施加有相位相异的射频电压以束缚离子；电极阵列中至少部分单元电极间施加有直流电压差，驱动入射电极阵列所生成电场的离子沿电极阵列作第一方向运动；通过几何图案分布形成对应电场分布来驱动各入射离子沿在基本正交于第一方向的第二方向运动,以实现离子偏转、聚焦或散焦，通过平面电极的几何结构和分布形成各种所需空间电场分布；在实现上，利用PCB或MEMS工艺来印刷各种平面几何形状的单元电极，具有低成本、高精度、高灵活性等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 光学 装置 质谱仪 | ||
【主权项】：
一种离子光学装置，其特征在于，包括：至少一平面绝缘基板，覆盖金属图案以构成电极阵列，其中，所述电极阵列包括多个单元电极，所述多个单元电极根据预定义离子导引方向而排列以构成所述电极阵列的几何图案分布，所述预定义离子导引方向定义为第一方向；其中，各个相邻的且相互绝缘的单元电极施加有相位相异的射频电压以束缚离子；电极阵列中至少部分单元电极间还施加有直流电压差，驱动入射离子沿所述第一方向运动，且通过所述电极阵列的几何图案分布所形成对应电场分布,该电场分布驱动所述入射离子沿正交于所述第一方向的第二方向运动,以实现离子偏转、聚焦或散焦。
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