[发明专利]太阳能硅片传送矫正机构有效
申请号: | 201410449597.8 | 申请日: | 2014-09-05 |
公开(公告)号: | CN104332438B | 公开(公告)日: | 2017-01-25 |
发明(设计)人: | 牛进毅;孙晓波;任云星;康冬妮;王鹏鹏;杜虎明;刘虎 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第二研究所 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 山西华炬律师事务所14106 | 代理人: | 陈奇 |
地址: | 030024 *** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | 本发明公开了一种太阳能硅片传送矫正机构,解决了现有技术存在的导向条易磨损和硅片矫正频率慢的问题。包括底板(1),在底板(1)上固定设置有左右方向上的硅片传送支架导轨(2),在硅片传送支架导轨(2)上设置有被传送轨片(4),在硅片传送支架导轨(2)的中部正下方设置有硅片传送矫正组件,在硅片传送支架导轨(2)的右端正下方的底板(1)上固定设置有伸出组件(5)。硅片传送矫正组件由L形前摆架(14)、L形后摆架(13)和旋转圆盘(17)组成,旋转圆盘(17)设置在L形前摆架(14)与L形后摆架(13)之间,两排硅片矫正滑轮的距离在硅片传送方向上由宽变窄,逐步矫正硅片的位置。满足了硅片高速传送下的导向需求。 | ||
搜索关键词: | 太阳能 硅片 传送 矫正 机构 | ||
【主权项】:
一种太阳能硅片传送矫正机构,包括底板(1),在底板(1)上固定设置有左右方向上的硅片传送支架导轨(2),在硅片传送支架导轨(2)上设置有硅片传送皮带(3),在硅片传送皮带(3)上设置有被传送硅片(4),其特征在于,在硅片传送支架导轨(2)的中部正下方的底板(1)上固定设置有前后方向上的矫正组件导轨(6),在矫正组件导轨(6)的左侧导轨上分别设置有左前滑块(10)和左后滑块(11),在矫正组件导轨(6)的右侧导轨上分别设置有右前滑块(7)和右后滑块(8),在左前滑块(10)的上端面与右前滑块(7)的上端面之间固定设置有L形前摆架(14),在左后滑块(11)的上端面与右后滑块(8)的上端面之间固定设置有L形后摆架(13),在L形前摆架(14)的左端底部内侧面与L形后摆架(13)的左端底部内侧面之间设置有左弹簧(12),在L形前摆架(14)的右端底部内侧面与L形后摆架(13)的右端底部内侧面之间设置有右弹簧(9),在L形前摆架(14)的顶端平行悬臂顶面上均布有硅片前矫正滑轮(16),在L形后摆架(13)的顶端平行悬臂顶面上均布有硅片后矫正滑轮(15),在L形前摆架(14)与L形后摆架(13)之间设置有硅片传送支架导轨(2),在硅片传送皮带(3)上设置的被传送硅片(4)是设置在硅片前矫正滑轮(16)与硅片后矫正滑轮(15)之间的;在硅片传送支架导轨(2)的中部下方的矫正组件导轨(6)的左侧导轨与矫正组件导轨(6)的右侧导轨之间的底板(1)上设置有旋转圆盘中心转轴(18),旋转圆盘中心转轴(18)的下端连接有旋转圆盘驱动电机(20),在旋转圆盘中心转轴(18)的上端连接有水平方向上的旋转圆盘(17),在旋转圆盘(17)的外圆上等间隔弧度地设置有六个凸轮随动器(19),六个凸轮随动器(19)在随旋转圆盘(17)旋转的过程中依次分别与L形前摆架(14)的内侧面和L形后摆架(13)的内侧面活动靠接在一起。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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