[发明专利]一种高能粒子轰击用Ag-Mg合金型MgO膜层的制备方法

摘要

本发明公开了一种高能粒子轰击用Ag-Mg合金型MgO膜层的制备方法。使用本发明能够解决MgO膜层薄和残余的Mg氧化不充分的问题。本发明首先采用CO₂对Ag-Mg合金中的Mg进行氧化，由于CO₂分子足够大而不能渗透到Ag-Mg合金内部，能加速表面膜层的迅速成长和内部Mg向表面的迁移，然后再用O₂对残余的Mg继续氧化，由于O₂分子能渗透到Ag-Mg合金内部，能将内部残余的Mg氧化充分，提高MgO膜层厚度，避免残余Mg导致的膜层污染进而降低MgO膜层二次发射系数的问题，并且，本方法制备设备为全无油系统，避免系统油蒸汽对膜层的污染，提高了膜层的二次发射系数。

主权项

一种高能粒子轰击用Ag‑Mg合金型MgO膜层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1，构建制备设备；所述制备设备包括装入区(6)和处理室(4)，所述装入区(6)和处理室(4)通过连接管道连接，所述连接管道上设有阀门(5)，阀门(5)处于关闭状态；步骤2，将预处理后的Ag‑Mg合金样品放置在装入区(6)中，对装入区(6)抽真空，当装入区(6)的真空度大于10^‑3Pa后，停止抽气，向装入区(6)中充入干燥N₂；步骤3，对处理室(4)抽真空，当处理室(4)的真空度大于10^‑3Pa后，对处理室(4)进行烘烤加热，使处理室(4)的温度达到要求的氧化反应温度值并恒温；步骤4，停止处理室(4)的抽气，向处理室(4)中充入CO₂；步骤5，打开阀门(5)，将样品送至处理室(4)中，使样品中的Mg被CO₂充分氧化；步骤6，停止充入CO₂，对处理室(4)抽真空，当处理室(4)的真空度大于10^‑3Pa后，向处理室(4)中充入O₂，使样品中残留的Mg被O₂充分氧化；步骤7，停止充入O₂，向处理室(4)中充入N₂，并降温，待处理室(4)降至室温后将样品取出。