[发明专利]一种玻璃基底上OTS自组装薄膜的改性方法

摘要

一种玻璃基底上OTS自主装薄膜的改性方法，步骤一：将载玻片用氯仿、丙酮、乙醇、去离子水分别清洗，各超声5min；二：将玻璃基底用5％-15％的HF溶液浸泡超声5min，用去离子水清洗；三：将30ml浓过氧化氢溶液加入70ml浓硫酸中，静置2h，配成piranha洗液；四：将玻璃基底放入piranha洗液中，水浴保温90℃，浸泡30min后停止，冷却后倒出浓硫酸，用去离子清洗，再用Ar吹干；五：在充满Ar气的手操箱中，将玻璃基底放入浓度为1％的OTS甲苯溶液中，在手操箱中室温浸泡24h；六：取出玻璃基底，依次用甲苯、丙酮分别晃动清洗；七：再将玻璃基底用乙醇浸泡5min中，在手操箱中晾干后取出。

主权项

一种玻璃基底上OTS自主装薄膜的改性方法，其特征在于：具体步骤如下：步骤一：将切割好的载玻片作为玻璃基底依次放入盛有氯仿、丙酮、乙醇、去离子水的烧杯中分别清洗，各超声10min；步骤二：用移液管向塑料器皿中加入适量的去离子水，再向其中加入质量分数大于等于40％的HF溶液，然后超声5min，使其均匀混合，得到所需质量分数为5％‑15％的HF溶液；将清洗干净的玻璃基底放入其中，超声5min，再用塑料镊子取出玻璃基底，用大量去离子水冲洗，然后用充足的去离子水超声2次，各10min；步骤三：将30ml浓过氧化氢溶液缓慢加入到盛有70ml浓硫酸的烧杯中，静置1h，以待其混合均匀并冷却到室温，制成piranha洗液以备用；步骤四：将玻璃基底放入步骤三中的混合溶液中，水浴保温90℃，浸泡30min后停止加热，待其自然冷却后，倒出浓硫酸，用去离子水冲洗玻璃基底，再用去离子水超声3次，各超声10min，用镊子取出玻璃基底放入流动的Ar气氛的玻璃管中吹干；步骤五：在充满Ar气的手操箱中，用移液管向20ml烧杯中加入10ml甲苯，再用移液管向其中加入100ulOTS，用移液管枪头轻轻搅拌5min，使其均匀，将用Ar吹干的玻璃基底放入以上溶液中，在手操箱中室温浸泡24h；步骤六：在充满Ar的手操箱中，用镊子取出玻璃基底，依次放入盛有甲苯丙酮的烧杯中晃动，清洗；步骤七：为进一步提高其疏水性能，再在充满Ar的手操箱中，将玻璃基底用乙醇浸泡5min中，在手操箱中晾干后取出。