[发明专利]一种铬靶材的生产方法

摘要

一种铬靶材的生产方法，将粒度为60目～320目和粒度为320目～500目的金属铬粉混合均匀，烘干，加入到冷压模具内冷压成型，得到铬靶材坯料，用包覆纸将铬靶材坯料表面包覆，装入热压模具内，入炉热压成型，得到铬靶材。优点是：先冷压得到铬靶材坯料，有利于热压，经过热压后满足铬靶材的要求。两种工艺相互配合，工艺简单，操作方便，对环境友好，产品成品率高，实现了工业化生产。

主权项

一种铬靶材的生产方法，其特征是：具体步骤如下：（1） 将粒度为60目～320目和粒度为320目～500目的金属铬粉混合均匀，烘干备用，所述粒度为60目～320目的金属铬粉与粒度为320目～500目的金属铬粉的质量比为5:3～9:2；（2）将步骤（1）混合的金属铬粉加入到冷压模具内，用700Mpa～1000Mpa压力冷压成型，保压10s～120s，压制尺寸为Φ50×5.0mm～Φ120×6.8mm实心圆柱体铬靶材坯料；（3）用包覆纸将铬靶材坯料表面包覆，装入热压模具内，入炉；（4）抽真空至0～15pa，升温至300℃～400℃，保温10 min ～30min，继续升温至600℃～800℃，停止加热，启动热压设施，对正热压设施的上下压头，对铬靶材坯料8 Mpa～12Mpa压力下预热压60s～90s；关闭热压设施，继续升温至1300℃～1600℃，保温30min～120min，停电；（5）启动热压设施，用20Mpa～100Mpa压力热压成型，保压10min～100min，降温至≤100℃后出炉，得到铬靶材。