[发明专利]一种廉价无序宽谱广角减反结构及其制作方法

摘要

本申请公开了一种廉价无序宽谱广角减反结构及其制作方法，其方法包括步骤：s1、在基底材料（或结构）表面沉积介质膜；s2、在所述介质膜表面形成金属胶体薄膜；s3、对所述金属胶体薄膜进行热处理，获得金属纳米结构；s4、以所述金属纳米结构为掩膜对所述介质膜进行刻蚀，形成减反结构；s5、去除金属纳米结构。本发明的介质纳米结构制备方案简单易行、可实现大面积、只需要低温、制备能耗低和效率高。而制备的无序介质纳米结构连同残余金属掩模可获得非常好的宽谱广角减反效果。

主权项

一种廉价无序宽谱广角减反结构的制作方法，其特征在于，包括步骤：s1、在基底材料表面沉积介质膜；s2、在所述介质膜表面形成金属胶体薄膜；s3、对所述金属胶体薄膜进行热处理，获得金属纳米结构；s4、以所述金属纳米结构为掩膜对所述介质膜进行刻蚀，形成减反结构；s5、去除金属纳米结构。