[发明专利]晶体生长方法、系统及固液转换时点确定方法及装置在审
申请号: | 201410452521.0 | 申请日: | 2014-09-05 |
公开(公告)号: | CN105463584A | 公开(公告)日: | 2016-04-06 |
发明(设计)人: | 徐永亮;廖永建;汪海波 | 申请(专利权)人: | 苏州恒嘉晶体材料有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;G01N21/84 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人: | 逯长明;许伟群 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供的晶体生长固液转换时点确定方法,包括以下步骤:11)实时获取坩埚内物料图像;12)确定相邻的两张物料图像相对应的边界形状特征;13)计算相邻的两张物料图像的边界形状特征的面积,分别为第一特征面积和第二特征面积;14)判断第一特征面积和第二特征面积差值的绝对值是否大于设定值;15)在差值的绝对值大于设定值时,取相邻的两张物料图像中较晚拍摄的一张所述物料图像所对应的拍摄时点作为所述固液转换时点。本发明还提供一种晶体生长固液转换时点确定装置,以及晶体生长系统和方法。上述方案能够解决背景技术中通过人为观察来确定固液转换时点所存在的确定精度受限于经验、导致熔体晃动以及易观察失败的问题。 | ||
搜索关键词: | 晶体生长 方法 系统 转换 时点 确定 装置 | ||
【主权项】:
晶体生长固液转换时点确定方法,其特征在于,包括以下步骤:11)实时获取坩埚内物料图像;12)确定相邻的两张所述物料图像相对应的边界形状特征;13)计算相邻两张所述物料图像边界形状特征的面积,分别为第一特征面积和第二特征面积;14)判断所述第一特征面积和所述第二特征面积差值的绝对值是否大于设定值;15)在所述差值的绝对值大于设定值时,取相邻的两张所述物料图像中较晚拍摄的一张所述物料图像所对应的拍摄时点作为所述固液转换时点。
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