[发明专利]高精度偏振二向反射自动测量仪

摘要

本发明公开了一种高精度偏振二向反射自动测量仪，包括激光器、光纤耦合器和自动调节收发器，激光器和光纤耦合器之间放置斩波器；该自动调节收发器包括伺服电机、同轴的发射臂和接收臂，发射臂和接收臂上均安装有数字角度计，数字角度计与上位机连接；伺服电机控制接收臂在主平面的转动，光纤耦合器通过光纤与发射臂上的发射套筒连接，发射套筒中的光照射到样品台的样品上；接收臂上安装有接收套筒，该接收套筒内设有光信号采集模块，采集的光信号被输入到第一锁相放大器；信号经第一锁相放大器处理后，将处理结果输入上位机，上位机再对信号进行处理并显示处理结果。

主权项

一种高精度偏振二向反射自动测量仪，其特征在于，包括激光器、光纤耦合器和自动调节收发器，激光器和光纤耦合器之间放置斩波器；该自动调节收发器包括伺服电机、同轴的发射臂和接收臂，发射臂和接收臂上均安装有数字角度计，数字角度计与上位机连接；伺服电机控制接收臂在主平面的转动，光纤耦合器通过光纤与发射臂上的发射套筒连接，发射套筒中的光照射到样品台的样品上；接收臂上安装有接收套筒，该接收套筒内设有光信号采集模块，用于采集样品反射的偏振光信号，采集的偏振光信号被输入到第一锁相放大器；信号经第一锁相放大器处理后，将处理结果输入上位机，上位机再对信号进行处理并显示处理结果；自动调节收发器通过底板固定在光学平台上，该自动调节收发器包括基座，基座上固定减速器和伺服电机；发射臂由发射臂夹持器固定，发射臂夹持器固定在基座前挡板上；并且通过旋松螺丝调节发射臂夹持器转动到一定角度并固定；接收臂通过接收臂夹持器固定，接收臂夹持器固定在主轴上，主轴与基座前挡板由轴承固定，主轴与减速器输出轴之间通过联轴器连接。