[发明专利]弧形工作面氟橡胶真空吸嘴在审
| 申请号： | 201410454156.7 | 申请日： | 2014-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN104934357A | 公开（公告）日： | 2015-09-23 |
| 发明（设计）人： | 关光武 | 申请（专利权）人： | 关光武 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L21/66 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518052 广东省深圳市南山区科技园*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种弧形工作面氟橡胶真空吸嘴，其包括用于吸附芯片的吸嘴主体；因吸嘴主体包括吸嘴以及吸嘴垫；吸嘴内部设有安装腔，该安装腔底端设有真空通道，从真空通道两端端面处分别延伸出端面圆形倒角，从该端面圆形倒角一端延伸形成一弧形工作面；该弧形工作面与芯片边缘形成线接触的接触部。当芯片与吸嘴主体接触时，接触部、真空通道，端面圆形倒角以及弧形工作面形成封闭密封的真空吸腔，在空气负压的作用下，该真空吸腔处于真空状态，将芯片吸附于吸嘴主体上，在此过程中，只有弧形工作面与芯片相交处相处形成线接触的接触部，该接触部避免大面积的弧形工作面与芯片接触，而导致被加工的芯片产生短路或芯片回吸现象系列问题发生。 | ||
| 搜索关键词： | 弧形 工作面 氟橡胶 真空 | ||
【主权项】：
一种弧形工作面氟橡胶真空吸嘴，其包括用于吸附芯片的吸嘴主体；所述的吸嘴主体包括吸嘴以及与吸嘴一体设计的吸嘴垫；所述的吸嘴（1）的内部设有安装腔，该安装腔的底端设有真空通道，从真空通道两端的端面处分别延伸出端面圆形倒角，从该端面圆形倒角一端延伸形成一弧形工作面；该弧形工作面与芯片边缘形成线接触的接触部。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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